亲水性: 低应力氮化硅薄膜上镀有5nm厚度的亲水涂层 疏水性: 低应力氮化硅薄膜上镀有5nm厚度的疏水涂层

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探针材料：氮化硅；针尖形状：球形；微球材料：二氧化硅或 微球直径：2微米至18微米；背面涂层：有

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